pecvd工作总结

pecvd工作总结篇一

太阳能电池PECVD故障解除

1．设备工程师常见故障解决方法

一． “Boat not correct on Paddle“ （舟在浆上位置不正确）

1. 在CESAR屏幕上按“return（返回）/enter（确认）” 键确定错误信息

2. 输入“ab”确认程序退出信息

3. 切换到system（系统）/handling（处理）, 将lift（升降机）移到Storage3 （储存架3）

4. 检查boat（舟）是否正确放置在paddle（浆）上，如果没有，用绝热手套将其放置正确。

5. 在CESAR菜单中选择Service（服务）/TAB recovery（恢复） handling

6. 设置 manual（手动）/boat（舟）/position（位置）/set point（设定点）=0

7. 如果boat（舟）不移动，设置manual（手动）/boat（舟）/speed（速度）=150

8. 如果“Boat not correct on Paddle（舟在浆上位置不正确）”还是不消失，尝试如下操作：

１． 在CESAR菜单中选择 manual（手动） tab/ vacuum(真

空度)/pressure（压力）=minimum（最小值），Gas（气体）/N2NO（氮气阀门）=open(开)，直到”Atmo reached（压力到达）”, 关闭N2NO（Gas/N2NO=close）。

２． 在打开机器大门之前将auto/hand 设置成hand ３． 抓住paddle(j浆)的柄，用手移动paddle （浆）

４． 设置 manual（手动）/boat（舟）/position（位置）/set point（设定值）=0

５． 在CESAR菜单中选择Service（服务）/TAB recovery （恢复）handling（手动）, 这时炉门应该自动关闭

６． 如果没有，选择manual（手动）/boat（舟）/service（服务）/homing（回原点）=start

二． “boat already on paddle” （舟已在浆上）

1. 在CESAR菜单中选service tab/InitDevs, 由此安装了各种器件，SLS 向上。

2. 保证tube pressure 达到并保持在Atmosphare

3. 设置Manual/boat/position/setpoint=0

4. 设置Manual/boat/speed=150

5. 设置Manual/boat/service/homing=start, 则paddle归０，门自动关闭。

6. 按“stop”, 再”standby”

三．进舟的时候发生错误，paddle 不能行至Max.position, 通常发生在recipe运行后１至２分钟

1. acknowledge alarms

2. 如果recipe没有自动终止，运行菜单中ExitProc

3.service/recovery/handling

四，机械臂不能运行

１．机械爪中有舟，但不能将舟放置已经＂occupied＂的paddle或storage上，

1.1 调至system handling, 查看传感器的响应状态occupied/free

1.2 如果paddle上无舟，但显示＂occupied＂, 可以屡次试验光传感器的通断，如果不行，再检查传感器的调节．

1.3 如果错误发生在将舟退到车上时，可以试着换另一个车．

2 Handling操作时臂不在middle position

2.1 检查机械臂是否可以运动

2.2 将臂移至middle position

2.3 再进行automatic操作

3．软件中预设的位置被改变

3.1 关闭CMI

3.2 运行程序{pecvd工作总结}.

rescmicfg(C/programs/centrotherm/tools)，这将保存以前的位置设置

3.3 重新打开CMI, 并cold start

4．舟浆分离或浆贝炉管卡住，按“Handling stop”

5．浆在炉中时间过长，高温下弯曲下垂，会导致在其在卡住，可用手套将其托起，冷却变直。

6．退舟时发生“Boat failure”，检查舟在浆上的位置是否正确，舟的脚是否碰到炉管，如果舟在浆上的位置正确并且脚没有碰到炉管，使用“Recovery/Handling”。

7．原则上不允许手动放舟于storage2和3上，如果手动放置，必须检查storage2和3的状态，如果有舟状态必须为

occupied。

五, 关泵, 关机和开机

1, 关泵, 如需对硅烷燃烧塔进行改装

1.1, 对炉管内填气

Manual-vacuum-tube-pressure-minimum Manual-gas-N2NO-volume-open

等到信号Atmo reached 出来后，将N2NO close Manual-vacuum-pump-switch-off

Manual-T.paddel-all-setpoint-250 Manual-gas-N2-volume-0.2

1, 关机

1.1, 对每一个管，Manual-service-shutdown, 将Cesar的开关关闭

将CMI操作界面关闭，

将CMI 电脑关闭

将配电柜中的各种开关关闭{pecvd工作总结}.

将总电源关闭

pecvd工作总结篇二

捷佳创管式PECVD试题80道 白进谦

捷佳创管式PECVD试题80道

一. 选择题：

1.下列选项中，3#K+P没有用到捷佳创公司生产的设备有：（D）

A.刻蚀机 B.清洗机 C.管式PECVD D.板式PECVD

2.对于捷佳创管式PECVD，下列说法不正确的是：(C)

A.控制程序显示界面分为4个功能区

B.标题栏中有8中操作模式切换按钮

C.编辑窗中1-10000各数量级的整数供编辑数据使用

D.设备状态窗显示的是设备的各项数据和工艺状态

3.捷佳创管式PECVD的操作界面中，手动不能打开的是：（A）

A.干泵 B.主抽阀 C.充气阀 D.开关炉门

4.捷佳创管式PECVD的软件密码是：（B）

A.6065 B.zzzzz C. 8914 D.aaa

5.在工艺运行过程中，下列哪种情况不会造成捷佳创管式PECVD压强超差报警：

（D）

A.硅烷流量突然偏低 B.干泵异常停止 C.蝶阀开度异常 D.生产操作员输错工艺时间

6.捷佳创管式PECVD出现上下/平移马达连接障碍时，下列做法不正确的是：（D）

A.检查驱动器与工控机的通讯线连接情况

B.重新安装工控机的COM端驱动程序

C.检查驱动器本身状态灯的闪烁情况，并参照驱动器说明书核实

D.用手拍打驱动器，观察马达的连接情况

7.下列哪种情况不会导致捷佳创管式PECVD出现流量偏差报警：（C）

A.通讯不正常 B.气动阀没有完全打开 C.机械手异常停止 D.气路泄露

8. PECVD工序的目的是为了在硅表面形成一层致密的薄膜，薄膜的组成部分主要是（A）

A.氮化硅 B.氧化硅 C.五氧化二磷 D.磷硅玻璃

9.下列备件中，捷佳创管式PECVD用不到的有（D）

A.阿尔卡特真空泵 B.氨气流量计 C.角阀 D.2X-15型真空泵

10. 捷佳创管式PECVD中没有用到的气体是（B）

A.氨气 B.四氟化碳 C.硅烷 D.压缩空气

11. PECVD的反应气体中含有氨气（NH3），在形成等离子体后H离子的主要作用

是（ D）

A.形成薄膜 B.控制薄膜的折射率 C.控制薄膜的厚度 D. 硅片的表面钝化

12.下列哪些对硅烷的描述是错误的（D ）

A在空气中可以自然 B可以与氯、氟发生剧烈反应

C 吸入后会引发头晕、恶心 D硅烷引起的燃烧可用水来熄灭

13.下列哪种情况发生不会导致浆走不到前限位（D）

A.电极与石墨舟电极孔没有对准

B.浆的马达故障

C.石墨舟方向反了

D.炉管内温度没有到达设定值

14.工业中控制电压一般是多少伏（A）

A.24V B.36V C.110V D.220V

15. PLC设计规范中,RS232通讯的距离是多少?（D）

A.1300M B.200M C.30M D.15M

16.工业中控制电压一般是直流还是交流（B）

A.交流 B.直流 C.混合式 D.交变电压

17.PLC程序中,手动程序和自动程序需要(B)

A.自锁 B.互锁 C.保持 D.联动

18. 捷佳创管式PECVD设备中没有通冷却水的是：（D）

A.阿尔卡特真空泵 B.射频电源 C.炉管 D.机械手

19.下列哪种情况不会造成真空抽不下去（D）

A. 抽气主管道存在漏气 B. 真空泵工作异常 C. 主抽阀门损坏或没有打开

D. 电极没有与反应舟接触上

20. 熔断器在电路中所起的作用是（D）。

A、零压保护 B、过载保护 C、失压保护 D、短路保护

21. 接触器在电路中的图形文字符号是（C）。

A、FU B、FR C、KM D、SB

22. 要是三相异步电动机反转，只要（ C ）就能完成。

A、降低电压 B、降低电流

C、将任意两根电源线对调 D、降低线路功率

23. 主令电器的主要任务是（A）

A、切换主电路 B、切换信号电路

C、切换测量电路 D、切换控制电路

24.下面关于蝶阀的叙述不正确的是：（D）

A.蝶阀通过控制开度的大小来控制炉管内的压力

B.蝶阀出现故障时，可以尝试让蝶阀自动学习来解除故障

C.蝶阀卡死，可能是因为管道内的氮化硅粉末太多

D.设备断电后，捷佳创设备上的蝶阀最容易卡死

25.下面关于阿尔卡特真空泵，说法不正确的是（B）

A.如果泵的排废不好，会影响真空泵的抽速

B.泵的冷却水管道完全堵死后，可用草酸循环清通

C.返修1台泵需要花费约30000元

D.通过泵上的控制面板可以开启或关闭真空泵

26.3#车间所用捷佳创管式PECVD的型号是（A）

A.PD-380A B.PB-380A C.PD-380B D.PB—380A

27. 捷佳创管式PECVD每个炉管有温度控制器的个数是（C）

A.1个 B.2个 C.3个 D.4个

28.1台PD-380A管式PECVD所用的阿尔卡特真空泵的数量是（B）台

A.3 B.4 C.5 D.6{pecvd工作总结}.

29.如果阿尔卡特真空泵冷却水管道堵塞或堵死，则（C）

A.真空泵立马停止工作 B.冷却水流量计会自动调大 C.泵温会逐渐升高，并发出报警 D.尾气管压力会变高

30.下面关于氨气的说法，不正确的是（D）

A. 常温下为气体，无色有刺激性恶臭的气味

B. 氨气对接触的皮肤组织都有腐蚀和刺激作用

C. 短期内吸入大量氨气后可出现流泪、咽痛、声音嘶哑、咳嗽

D. 氨气不易溶于水

31. PECVD工艺完成后，硅片表面的镀膜颜色发白，下列哪些措施可以缓解这种情况（D ）

A增加温度 B增加镀膜时间 C增加NH3流量 D减少压力

32. 电容器在直流稳态电路中相当于( B )。

A. 短路 B. 开路 C. 高通滤波器 D. 低通滤波器

二.判断题：

1.捷佳创管式PECVD每个炉管都有1个PLC（√）

2.设备运行时，气柜门必须保持关闭，以确保能通过外部抽排系统对气柜内部进行可靠抽排（√）

3.紧急即停开关的精确位置在工控机的右上侧（X）

4.炉门内的压力不必要达到大气压就可以开炉门（X）

5.如果运行工艺时，工艺突然中断，可直接充气开炉门（X）

6. 电压互感器可用旧符号LH表示（∨）

7. 电容器具有隔直流、通交流作用。（∨）

8. 电流表要与被测电路 并联。（×）

9. 捷佳创管式PECVD的炉管材质是石英（∨）

10.如果浆走不到位可能是马达线虚接或线段（∨）

11.工艺过程中，如果气体流量达不到设定值可能是电磁阀没有完全打开造的（∨）

12.显示真空抽不下去时，肯定和薄膜硅无关（X）

13. 在电路中，电容器具有隔断直流、通过交流的作用。（√）

14. 熔断器主要用于用电设备的短路保护，只要额定电压和额定电流选择得当，熔断器可以互换或代替使用（X）

15. 如果把一个24V的电源正极接地,则负极的电位是-24V. ( √ )

16. 捷佳创管式PECVD是通过稳压电源向机械手供电（√）

17.阿尔卡特真空泵排废不好的话较容易卡死真空泵（√）

18. 捷佳创管式PECVD的机械手不是由PLC控制的（X）

19. 捷佳创管式PECVD的机械手上没有装压力开关（X）

20. 捷佳创管式PECVD冷却水进水管压力和出水管压力是相同的（X）

21. 捷佳创管式PECVD炉管内碎片每周需要清理一次（√）

22. 捷佳创管式PECVD设备上有6个即停按钮（√）

23. 每台捷佳创管式PECVD有1个存储区（X）

24. 电动机的各种故障最终大多引起电流增大，温升过高。（∨）

25. 电压互感器一次熔丝接连熔断时，可更换加大容量的熔丝。（×）

25. 捷佳创管式PECVD冷却水进水管温度比出水管温度低（∨）

26. 捷佳创管式PECVD机械臂上下运行是由气动实现的（×）

27. 捷佳创管式PECVD炉门的开启和关闭是由气动实现的（∨）

28.阿尔卡特真空泵的上泵马达和下泵马达用的是同一路冷却水（∨）

29.阿尔卡特真空泵工作的时候需要使用压缩空气（×）

30.阿尔卡特真空泵功率过高时，可能是炉管漏气引起的（∨）

31. 捷佳创管式PECVD有1个炉管故障时，不影响其他3个炉管做工艺（∨）

32. 捷佳创管式PECVD使用的是碳化硅材料的浆（∨）

33. 使用兆欧表前不必切断被测设备的电源。（×）

34. 万用表使后，转换开关可置于任意位置。（×）

35. 继电器或接触器触头数量不够时，可利用中间继电器来切换多条电路。（√）

36. 捷佳创管式PECVD的变压器安装在水平式炉体的背部（√）{pecvd工作总结}.

37.维修捷佳创管式PECVD气体系统时，要用充足的惰性气体清洗管道（√）

38.三相异步电动机的绝缘电阻低于0.2MΩ，说明绕组与地间有短路现象。（ √ ）

39. 捷佳创管式PECVD使用的PLC是西门子的（×）

pecvd工作总结篇三

针对一车间8s学习与总结

针对一车间8s学习与总结

问题

工序从后往前

一.清洗：

1.试剂无标签单独放置

2.地面有积水与酸液

3.未运行生产线上存在做技术人员手套乱放现象{pecvd工作总结}.

4.设备后门未关闭

5.安全出口灯不亮

二.扩散：

1.胶皮手套放置于消防栓上

2.传递窗没关严（扩散工序要求净化级别最高）

三.刻蚀：

1.需要注意移动石英舟要用舟插不能用手，防止污染硅片

四.去磷硅玻璃：

1.未使用的甩干设备盖没关

五.PECVD（镀膜）：

1.存单应夹在中间或压在花篮下面

六.印刷：

1.设备窗没关闭

2.活性炭口罩佩戴问题

七.分选

建议

通过针对一车间的参观与学习，在清洗工序中，安全出口灯不亮为工作人员的安全留下隐患，应及时更换。单独放置的无标签试剂，如果胡乱添加试剂不仅会造成产品质量问题还会发生生产事故或人员伤害。地面有积水与酸液，大面积积水容易造成人员滑倒，酸液流出易造成腐蚀鞋底等。未运行清洗的生产线上及扩散工序中存在技术.工作人员手套乱放现象，没有做好物品的整顿，从而影响现场整洁及生产效率。

为保证所生产产品的质量，应注意传递窗关严，用舟插移动石英舟，存单应放在花篮下或夹在中间等细节问题。由于设备温度高，长时间作业下工作人员还会忽视防护用具的佩戴，不仅可能影响自身身体健康还会对产品质量造成污染等。

因为长时间的重复作业易造成一些操作规范的忽略，从而降低生产效率，影响产品质量，并且留下安全隐患，所以更体现出了科学管理的重要性，“8s”提供了健全的规范，辅以监督职能，严抓生产实践，落实奖惩措施，从而更好地提升企业文化。

pecvd工作总结篇四

集成电路工艺个人总结

曹飞 个人版总结

引言

第一只晶体管

•第一只晶体管, AT&T Bell Lab, 1947

•第一片单晶锗, 1952

•第一片单晶硅, 1954 (25mm，1英寸)

•第一只集成电路（IC）, TI, 1958

•第一只IC商品, Fairchild, 1961

摩尔定律晶体管最小尺寸的极限

•价格保持不变的情况下晶体管数每12月翻一番，1980s后下降为每18月翻一番；

•最小特征尺寸每3年减小70%

•价格每2年下降50%；

IC的极限

•硅原子直径: 2.35 Å；

•形成一个器件至少需要20个原子；

•估计晶体管最小尺寸极限大约为50 Å或0.005um，或5nm。 电子级多晶硅的纯度

一般要求含si>99.9999以上，提高纯度达到

99.9999999—99.999999999%（9-11个9）。其导电性介于10-4-1010  /cm。电子级高纯多晶硅以9N以上为宜。

1980s以前半导体行业的模式

1980s以前：大多数半导体公司自己设计、制造和测试IC芯片，如 Intel，IBM

1990s以后半导体行业的模式

F&F模式，即Foundry(代工)+Fabless(无生产线芯片设计), 什么是Foundry

有晶圆生产线，但没有设计部门；接受客户订单，为客户制造芯片；

IC流程图:

接受设计订单→芯片设计→EDA编辑版图→将版图交给掩膜版制造商→制造晶圆→芯片测试→芯片封装

硅片制备与高温工艺单晶生长：直拉法 区熔法

高温工艺:氧化，扩散，退火。

Si集成电路芯片元素组成



■半导体（衬底与有源区）：单晶Si

■杂质（N型和P型）：P (As)、B

■导体（电极及引线）：Al、Wu（Cu 、Ti）、poly-Si

■绝缘体（栅介质、多层互连介质）：SiO2、Si3N4

硅的重要性

■储量丰富，便宜；（27.6％）

■SiO2性质很稳定、良好介质，易于热氧化生长；

■较大的禁带宽度（1.12eV），较宽工作温度范围

硅提纯 I的工艺步骤、化学反应式及纯度

从石英砂到硅锭

■石英砂（SiO2)→冶金级硅(MGS)

■HCl与MGS粉反应形成TCS■（trichlorosilane：氯硅烷） ■利用汽化和冷凝提纯TCS

■TCS与H2反应形成多晶硅(EGS)

■熔融EGS和拉单晶硅锭

从硅锭到硅片

单晶硅锭→整型→切片→磨片倒角→刻蚀→抛光→清洗→检查→包装

化学反应式

硅提纯I

多晶硅淀积

直拉法的拉晶过程

拉晶过程

①熔硅②引晶（下种）③收颈④放肩

直拉法的拉晶过程中收颈的作用

目的：抑制位错从籽晶向晶体延伸

直拉法与区熔法的对比

直拉法，更为常用(占75％以上)

⑴便宜⑵更大的圆片尺寸(300mm已生产)⑶剩余原材料可重复使用⑷位错密度：0～104cm2

区熔法

⑴高纯度的硅单晶(不使用坩锅)（电阻率2000Ω-mm）⑵成本高，可生产圆片尺寸较小(150mm)⑶主要用于功率器件⑷位错密度：103～105cm2

定位边或定位槽的作用

①识别晶向、导电类型及划片方向 ②硅片（晶锭）机械加工定位的参考面； ③硅片装架的接触位置

外延的定义：外延、外延层、外延片、同质外延、异质外延 外延层：单晶衬底上单晶薄膜层

外延：同质外延和异质外延

同质外延：衬底与外延层为相同晶体，晶格完全匹配

异质外延：衬底与外延层为不同晶体，晶格不匹配

双极晶体管（电路）和CMOS器件（电路）中外延层的应用 双极晶体管（电路）中外延层的应用

高阻的外延层可提高集电结的击穿电压

■低阻的衬底（或埋层）可降低集电极的串联电阻

CMOS器件（电路）中外延层的应用

■ 减小pnpn寄生闸流管效应降低漏电流

Si外延的源材料

■Si源气体：SiH4(硅烷), SiH2Cl2(二氯硅烷),

SiHCl3(三氯硅烷), SiCl4(四氯硅烷)

■ 掺杂剂

pecvd工作总结篇五

实习报告

系 别：

专 业：

姓 名：

学 号：

指导教师：

完成时间：认识实习报告 数理系 应用物理学 董忠超 王新练 花春飞 王文芳 2012年6月11日～6月15日

河南城建学院 2012年6月10日

前言

经学校安排，我们五月十二日至五月十四日在阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司进行实习。在实习过程中要对光伏工程和电力工程的生产方式和工艺过程，光伏材料主要制备成形方法和主要光伏产品加工方法及其所用主要设备的工作原理和典型结构有一个大致的了解。了解硅原料加工成电池片的流程及所用机器的功用，了解光伏电池片即电池组件的制作原理、制作使用的机器、制作工艺与流程、制作中重要的细节问题等有关电池片及电池组件制作方面的信息。

目录

一、实习概况........................................................................................3

二、实习内容........................................................................................4

三、实习心得与体会............................................................................9

一、实习单位概况

阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司位于河南省洛阳市洛龙区。 阿特斯是一家由归国科学家瞿晓铧博士于2001年11月创办的太阳能光伏公司，先后在中国建立了洛阳、常熟及苏州三大产业基地，七家独资企业，全球雇员7000余人。阿特斯现有厂房面积已达156000㎡，2008年，阿特斯组件产能已超过600兆瓦。

阿特斯专业从事硅锭、硅片、太阳能电池片和太阳能组件及应用产品的研发、生产和销售，以及太阳能电站的系统安装。

自2002年投产后，阿特斯六年实现销售收入增长50倍。于2006年在美国纳斯达克成功上市，是中国第一家登陆美国纳斯达克的光伏企业(纳斯达克代码:CSIQ)。2006、2007和2008年，连续3年增长率为1552%。2007和2008连续两年蝉联德勤年度高科技、高成长中国50强，2008年，阿特斯销售额达7.09亿美元，比2007年增长134%，成为世界光伏产业发展最快的企业之一。2010年度位列全球组件出货量排行榜第六位，是世界光伏产业发展最快的企业之一.

阿特斯生产光伏玻璃幕墙、汽车充电器、GPS 太阳能车载跟踪系统、太阳能电池组件CS5A等各种标准太阳能组件产品和应用组件产品。阿特斯光伏组件被广泛应用于商业、家用、工业的离网等独立系统和并网的太阳能供电系统及光伏发电站等不同领域。独立系统包含独立的户用系统，如偏远农村的供电、通讯领域的远程控制系。并网系统被分为住宅、商用、工业用供电系统。

阿特斯阳光电力全面通过了德国莱茵(TUV Rheinland)的 DIN EN ISO 9001:2008 、QC080000 ，是业界第一家通过ISO/TS16949:2009质量保证体系的认证的企业。而且阿特斯光伏组件测试中心，还是国内第一家通过中国合格评定国家认可委员会 CNAS 认可的企业光伏实验室。其应用产品汽车充电器、GPS 太阳能车载跟踪系统、太阳能电池组件CS5A先后获江苏省高新技术产品荣誉称号。

二、实习内容

（一）硅片制作

1、硅原料的洗涤

在酸洗车间主要设备是并排放置的水槽及可以放出各种需要的液体的水管。根据硅原料的不同条件有相应的洗法。有些品质较好的硅原料只需水洗，对于品质差的硅原料则需要酸洗、碱洗、水洗。通过酸洗、碱洗可将硅原料上的石英等杂物去除掉，去除掉杂物后还要进行中和、水洗、烘干等处理。最后在车间中的一个密闭房间里还要对洗好的硅料进行分料包装，将不同的硅料分选开来，大约十千克装成一包留待下一步配料铸锭使用。

2、铸锭

铸锭分为多晶铸锭与单晶铸锭。我们首先进入了多晶铸锭车间，车间最外端是烧结炉，车间内共有四十台铸造炉，二十台产自日本二十台产自美国。

图1 多晶硅铸造炉

买来待用的坩埚要先经过预处理才能使用。在坩埚的内部要涂上一层氮化硅，然后在烧结炉里进行烧结，烧结温度在1050摄氏度左右。涂氮化硅是为了防止铸造过程中硅料与坩埚反应，也可以防止铸好的硅锭与坩埚粘在一起。而涂层易粘到硅锭上影响硅锭品质，经过烧结可将涂层与坩埚烧结到一起防止这一现象发生。

由上一流程分好的硅原料经技术人员配料放入处理过的坩埚内就可以入炉铸造了，其中每个坩埚中装料500千克。铸造过程大约需要八十个小时，此过程中炉内顶部的多晶硅硅棒逐渐从硅料中拉出，硅料从下部开始逐渐结晶，结晶过程中杂质逐渐上升，所以最后形成的硅锭的顶部杂质含量最高。铸造好的硅锭取出逐渐冷却后去掉坩埚就可以用于下一道程序了。

pecvd工作总结篇六

双滦区工信局创先争优总结

双滦区工业和信息化局

关于点评“创先争优”活动情况总结 区直机关工委：

自区开展创先争优活动以来，工信局按照区委、区直机关工委创先争优活动部署，积极活动，精心组织，狠抓落实，深入扎实开展了“抓创新，创佳绩”并结合实际开展了“五项活动”、“四抓四新”、“争创优秀党支部”、“优秀党员”等活动，做好“紫塞先锋”亮牌示范、舆论宣传活动，撰写党性分析材料，激发了全体干部职工争当楷模、争创佳绩的热情和奋力争先的赶紧，取得了初步成效，现将我单位活动的情况汇报如下。

一、开展好“创先争优”活动

（一）党支部重视，精心组织，周密部署

局党支部对此项活动高度重视，五月初专门召开党支部会议，周密部署。一是成立组织，明确责任。成立了创先争优领导小组和领导小组办公室，由局党支部书记任组长，确保组织到位，思想到位，督导到位。建立了党建工作责任制，形成一把手亲自抓，主管领导具体抓，可是协调联动，全员积极参与的整体氛围。二是制定切实可行的实施方案。三是搞好思想宣传活动。我们于5月26日召开全局创先争优活动动员大会。会上宣读了《双滦区委“关于在全区党组织和党员活动中深入开展创先争优活动的实施方案》,党支部书记作了动员讲话，动员全局广大干部职工务必把“创先争优”活动作为目前党建核心任务来抓，绝不准走过场，四是扎实开展理论学习活动。结合党风廉政建设，给全体干部职工发放了“双滦区四大一推一建”活动宣传手册、《党纪政纪法规学习手册》及《廉政文摘》的等读本，报纸等，供全体职工学习。

(二)开好组织生活会，认真撰写党性生活分析材料，开展“五个好”先进基层党组织，争做“五带头”优秀共产党员活动。

党性分析贵在自觉、重在求实。为搞好党性分析活动，局党支部认真开好组织生活会和民主生活会，进一步深化学习、提高认识、增强党性、接受教育的重要机遇，要求每位党员都要站在更高起点认识自己，以更高标准严格要求自己。把学习党和国家的大局结合起来，把自己的工作和思想实际结合起来，努力提高理论水平、增强党性修养、坚定立场方向，解决了如何做人的问题。局党支部书记带头撰写题为“加强党性修养，弘扬良好做风，构建廉洁高效、务实奋进的和谐机关”的“党性分析材料”，在他的带领下，局全体党员全部撰写了“党性分析材料”。

在深入学习，研究调研的基础上，结合蜗居世纪，开展创建“领导班子少、党员队伍好、工作机制好、工作业绩好、群众反映好”的“五个好”先进基层党组织、争做“带头学习提高、带头争创佳绩、带头服务群众、带头维护稳定、带头弘扬正气”的“五带头”优秀共产党员活动。全体干部职工纷纷表态，要全力投入到创先争优活动中来，积极做好各项工作。党支部每周五组织一次全体党员学习，通过自学、集体学习等形式深入了解创先争优和“五讲五争”活动等、并开展学习讨论，做到学习与实际相结合，并指导实践。通过学习增强信心和干劲，形成真抓实干促发展的良好氛围。

二、取得的主要成效

（一）顺利完成区工业和信息化局组建

区工业和信息化局已于7月28日完成组建工作。目前人员、档案、财务、职能业务工作、分包重点项目工作、专项工作等都已移接合并，三定方案已拿出初稿。召开了领导班子成员会议、全体工作人员会议，领导班子及工作人员职

责分工全部安排到位，已经开始正常工作。草拟出科技局议事民主集中制度、签到请销假制度、两周工作安排部署、每周学习制度。

（二）做好分包重点项目及重点专项工作

1、做好重点项目工作

（1）500兆瓦时全钒液流储能电池项目。项目研发方面：20kw电堆制作中，将于8月25日运抵承德。万利通和清华大学合作的液流电池工程研究中心的双极板和质子膜项目，双极板中试针对模具问题送到南京试机后，仍存在问题，万利通集团已经派工作人员到南京针对设备进行跟踪修改。质子膜初选设备选定后由于厂家研制时间太长导致厂家违约不能按时交货，万利通已派相关人员与厂家进行进一步的交涉。项目合作方面：万利通集团与澳大利亚Maria博士合作的全钒液流储能电池项目争取列入国际科技合作项目，现正在国家科技部进行最后的论文答辩。万利通集团下一步将与国内的新奥集团和澳大利亚的Maria博士两家公司进行合作，最终将在9月10日的全国钒钛产业研讨会上确定与其中一家公司先进行签约合作。工程建设方面：1、研发中心大楼已经封顶。开展内部水暖装饰。2、电池展馆和中试车间正在进行内部装修、外部装饰，在8月底建成。项目申报方面：修改河北省液流电池工程技术研究中心申请书，编辑省级企业技术中心评价材料。

（2）天宝机械公司迁库盘活利用项目。企业新厂址拟确定在装备制造园，占地约1000亩，搬迁意见已报区政府。

（3）新新机电公司风电设备扩能及新上光伏电池项目。风电项目积极和山东中凯风电联系；光伏电池镀膜设备项目设备设计的前期资料已收集完成，进行设备设计的前期准备工作。

2、做好重点专项工作

（1）中小企业服务专项工作。加强服务体系建设，进一步激活工业经济发展活力。结合中小企业工作职能，加强了区域经济市场服务体系建设，全力搞好指导与服务。组织银企对接活动4次，签约企业1家。已经累计为中小企业发放贷款近2亿元，有效缓解了部分企业的资金短缺现象。

（2）企业科技创新能力提升专项工作。（1）天宝机械集团现阶段正在研制DTII型固定皮带输送机和尾矿干排系统工艺，两项新产品的图纸设计正在进一步的研究中，其中尾矿干排系统工艺中的振动筛产品已经设计完毕，现阶段该产品已经顺利通过中试，下一步准备投入生产。（2）新新机电企业仍然处于按照PECVD镀膜技术的图纸进行对各部分组装产品的生产阶段，预计十月底完工。（3）本特顺达仪器仪表有限公司通过购买先进设备加大对小口径智能化水流量仪表制作的研发进度，预计九月份能够完全掌握小口径智能化水流量仪表制作技术，完成小口径智能化水流量仪表的研制。（4）河北工业大学与天宝机械有限公司共同研究的小功率电动机组控制器样机，现在已经在河北工业大学实验室内实验完毕，近期，天宝机械将派相关工作人员到河北工业大学针对该项产品的生产、合同等方面事宜进行洽谈。（5）万利通和清华大学合作的液流电池工程研究中心的双极板和质子膜项目，双极板中试针对模具问题送到南京试机后，仍存在问题，万利通集团已经派工作人员到南京针对设备进行跟踪修改。质子膜初选设备选定后由于厂家研制时间太长导致厂家违约不能按时交货，万利通已派相关人员与厂家进行进一步的交涉。

目前，4家科技型企业分别成立了各自的科技研发中心：

天宝机械成立了输送设备研发中心和风电转子电机研发中心、新新机电成立了光伏设备研发中心、本特顺达成立了智能化仪表研发中心、万利通成立了全钒液流储能技术研发中心。天宝机械与河北工业大学机械工程学院成立了博士后科研基地。

（三）项目申报工作

1、有两个项目被列入承德市重点产业技术创新项目，并予资金支持200万元。其中市政府重点产业技术创新项目“万利通公司-全钒液流储能电池示范工程建设”100万元；市政府重点产业技术创新项目 “新新机电公司-年产40万大型AZO镀膜设备产业化”100万元。

2、完成1个技改资金项目申报工作。帮助福德输送机械制造有限公司编制《4000吨输送机械技改项目》资金申请报告及项目申请书，现该项目已报至省发改委，并上报国家发改委。此项目申报成功将为企业带来技改资金100万元。

3、完成一个国家级科技项目、两个省级科技项目申报工作。工业项目两个：新新机电有限公司的非晶硅太阳能镀膜设备已申报省重大科技支撑项目；万利通集团与澳大利亚Maria博士合作的全钒液流储能电池项目已申报国家科技部；农业项目1个积极发挥政校合作平台的作用，完成中国枣专家智能系统中试省级科技项目申报。

4、全钒液流储能研发中心已被批准为“省级认定企业技术中心”、“省高新技术产业化项目”和“省重大技术支撑项目”。“省级液流电池工程技术研究中心”、与澳大利亚合作的“国际科技合作项目”、“2010年国家重大科技成果转化项目”，与承德博冠集团有限公司工程公司联合申报《钒电池项目集成化应用及智能微网项目》填报《国家科技支撑计